正確操作掃描電鏡的聚焦和對(duì)準(zhǔn)功能是獲得清晰圖像的關(guān)鍵。下面是一些操作步驟和注意事項(xiàng)：

聚焦功能：

（1）確保電子束發(fā)射源（例如熱陰極或場(chǎng)發(fā)射陰極）處于正常工作狀態(tài)。

（2）啟動(dòng)掃描電鏡并預(yù)熱一段時(shí)間，以使設(shè)備達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)。

（3）調(diào)節(jié)聚焦控制器，使電子束的焦點(diǎn)盡可能小且集中。通常，聚焦控制器是一個(gè)旋鈕或按鈕，根據(jù)設(shè)備型號(hào)可能有不同的標(biāo)識(shí)和操作方式。

（4）使用樣品中的明顯特征（如顆粒或邊緣）作為參考，逐漸調(diào)節(jié)聚焦控制器，直到獲得清晰的圖像。

對(duì)準(zhǔn)功能：

（1）確保掃描電鏡的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)已經(jīng)校準(zhǔn)并處于工作狀態(tài)。

（2）確定要對(duì)準(zhǔn)的特定區(qū)域或特征，并將其置于視野中心。

（3）使用對(duì)準(zhǔn)控制器進(jìn)行微調(diào)，移動(dòng)樣品臺(tái)或激光束（如果設(shè)備配備了激光對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)），以使特征在視野中居中。

（4）根據(jù)需要進(jìn)行水平和垂直方向上的對(duì)準(zhǔn)調(diào)整，確保樣品與電子束的準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)。

注意事項(xiàng)：

（1）在進(jìn)行聚焦和對(duì)準(zhǔn)操作之前，確保樣品已經(jīng)適當(dāng)安裝并固定在樣品臺(tái)上，并且樣品臺(tái)水平調(diào)平。

（2）遵循設(shè)備制造商的操作手冊(cè)和建議，因?yàn)椴煌膾呙桦婄R可能具有不同的控制器和對(duì)準(zhǔn)方式。

（3）小心操作控制器，進(jìn)行微調(diào)時(shí)逐步進(jìn)行，避免過(guò)度調(diào)整造成過(guò)度聚焦或?qū)?zhǔn)不準(zhǔn)確。

（4）注意保持環(huán)境的穩(wěn)定性，如避免振動(dòng)或溫度變化，以確保對(duì)準(zhǔn)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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