透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)是在標(biāo)配MEMS芯片樣品桿上集成低溫控制模塊，實(shí)現(xiàn)低溫電學(xué)測(cè)量或全溫區(qū)測(cè)量功能。

性能指標(biāo)
 

透射電子顯微鏡指標(biāo)：

● 兼容指定型號(hào)電鏡及極靴；

● 單傾可選高傾角版本；

● 可選雙傾版本，β角傾轉(zhuǎn)±25°（同時(shí)受限于極靴）；

● 測(cè)量電極數(shù)可選。

電學(xué)測(cè)量指標(biāo)：

● 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元；

● 電壓輸出最大±200 V，最小±100 nV；

● 電流測(cè)量最大±1.5 A，最小100 fA；

● 恒壓或者恒流模式；

● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

低溫指標(biāo)：

● 兼容MEMS加熱及電學(xué)芯片；

● 全溫區(qū)測(cè)量，溫度范圍：85 K- 380 K；

● 控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 K；

● 溫度連續(xù)可控。

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