掃描電鏡（SEM）圖像中的偽影（artifact）是指圖像中由于樣品制備、掃描過程或設(shè)備問題等因素所產(chǎn)生的虛假或不真實(shí)的結(jié)構(gòu)，這些偽影通常與實(shí)際的樣品結(jié)構(gòu)無關(guān)。偽影的存在可能嚴(yán)重影響圖像分析的準(zhǔn)確性，因此需要有效地識別和消除。以下是常見的偽影類型以及相應(yīng)的消除方法：

常見的偽影類型

樣品表面污染偽影

表現(xiàn)：由于樣品表面存在油污、水分、指紋等污染物，掃描電鏡圖像可能出現(xiàn)不均勻的灰度或不規(guī)則的斑點(diǎn)。

消除方法：清潔樣品表面：使用等離子清潔機(jī)、超聲波清洗、或使用適當(dāng)?shù)娜軇ㄈ绠惐迹┣鍧崢悠繁砻妫コ廴疚铩?/span>

金屬涂層：對于非導(dǎo)電樣品，使用金屬涂層（如金、鉑等）可以減少污染物的影響，同時(shí)提高圖像的質(zhì)量。

樣品充電偽影

表現(xiàn)：當(dāng)樣品為非導(dǎo)電材料時(shí)，電子束轟擊時(shí)可能會導(dǎo)致表面電荷積累，產(chǎn)生電荷效應(yīng)，從而導(dǎo)致圖像失真（如亮斑、對比度不均等）。

消除方法：金屬涂層：給樣品涂上一層薄薄的金屬（如金、鉑）以增加導(dǎo)電性，減少電荷積累。

使用低電壓掃描：通過降低加速電壓，可以減少電子束穿透深度，減少電荷積累的可能性。

使用導(dǎo)電膠帶或噴霧：在樣品的非導(dǎo)電表面使用導(dǎo)電膠帶或噴霧以提高其導(dǎo)電性。

增加樣品的導(dǎo)電性：對非導(dǎo)電材料進(jìn)行適當(dāng)?shù)谋砻嫣幚恚黾悠浔砻娴膶?dǎo)電性。

樣品表面粗糙度偽影

表現(xiàn)：樣品表面不均勻（如存在微小凹凸不平）會導(dǎo)致掃描電鏡圖像中出現(xiàn)偽影，影響細(xì)節(jié)清晰度。常見的偽影包括不規(guī)則的紋理和陰影。

消除方法：表面拋光：對樣品表面進(jìn)行拋光處理，減少表面粗糙度。

選擇合適的掃描模式：使用較低的加速電壓和較小的掃描區(qū)域，能夠減少表面不均勻帶來的影響。

電子束掃描偽影

表現(xiàn)：在掃描過程中，電子束的掃描路徑或掃描率設(shè)置不當(dāng)，可能導(dǎo)致條紋、條形結(jié)構(gòu)或其他類似圖案的偽影。

消除方法：調(diào)整掃描速度：適當(dāng)調(diào)整掃描速度（例如，增大掃描線間距），使得圖像細(xì)節(jié)清晰。

增加掃描次數(shù)：增加掃描次數(shù)或多次平均圖像，以減少掃描過程中的偽影。

優(yōu)化掃描參數(shù)：檢查和調(diào)整掃描的偏轉(zhuǎn)電壓、掃描頻率和同步系統(tǒng)，以確保掃描過程的穩(wěn)定。

聚焦誤差和畸變偽影

表現(xiàn)：由于焦距不準(zhǔn)確、電子束無法聚焦，導(dǎo)致圖像模糊或邊緣變形。

消除方法：正確對焦：使用合適的對焦模式（例如，通過調(diào)整樣品的高度或微調(diào)焦點(diǎn)來進(jìn)行手動對焦），確保圖像的清晰度。

校正畸變：檢查和調(diào)整掃描電鏡的幾何畸變，確保掃描時(shí)的圖像失真小。

透射電流偽影

表現(xiàn)：透過樣品的電子束（尤其是在使用較高加速電壓時(shí)）可能產(chǎn)生額外的二次電子信號，導(dǎo)致圖像中的亮區(qū)或邊緣增強(qiáng)。

消除方法：降低加速電壓：降低加速電壓可減少電子束的穿透深度，減少二次電子的影響。

改進(jìn)信號采集方式：采用不同的探測器（如背散射電子探測器）來減少透射電流對圖像的影響。

掃描畸變與掃描模式不匹配

表現(xiàn)：圖像中出現(xiàn)條紋、重復(fù)圖案或不均勻的亮度，這通常是由于掃描模式的設(shè)置不當(dāng)（如掃描速度過快或不穩(wěn)定的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)）。

消除方法：優(yōu)化掃描頻率和信號同步：確保掃描的電子束與圖像的刷新頻率同步，避免出現(xiàn)偽影。

檢查系統(tǒng)設(shè)置：確保掃描電鏡的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)和掃描參數(shù)設(shè)置正確，不會引入掃描誤差。

圖像處理偽影

表現(xiàn)：圖像處理過程中，如過度銳化、去噪或增強(qiáng)對比度，可能產(chǎn)生虛假的邊緣或局部的偽影。

消除方法：謹(jǐn)慎處理：在圖像后處理時(shí)避免過度銳化和對比度增強(qiáng)，以避免圖像中產(chǎn)生不真實(shí)的邊緣或結(jié)構(gòu)。

使用適當(dāng)?shù)膱D像濾波方法：使用合適的濾波方法（如高斯濾波）去除圖像中的噪聲，同時(shí)避免引入偽影。

樣品移動偽影

表現(xiàn)：樣品在掃描過程中發(fā)生輕微位移或振動，可能導(dǎo)致圖像模糊或出現(xiàn)條紋。

消除方法：確保樣品穩(wěn)定：使用高質(zhì)量的樣品夾持裝置，確保樣品在掃描過程中不會移動或震動。

使用隔振臺：在掃描電鏡工作臺上安裝隔振裝置，以減少外部振動的影響。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像中的偽影及其消除方法。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。