掃描電鏡（SEM）是一種利用電子束來觀察樣品表面微觀結(jié)構(gòu)的儀器。在SEM中獲取深度信息通常涉及以下幾種方法：

焦深度調(diào)整： SEM允許用戶調(diào)整焦深度，即所謂的“工作距離”或“對(duì)焦深度”。通過調(diào)整工作距離，可以改變?cè)跇悠繁砻嫔锨逦梢姷膮^(qū)域。然而，這種方法的調(diào)整范圍有限，而且可能影響圖像的分辨率。

斜視圖觀察： 通過傾斜樣品，可以從不同角度觀察樣品表面，從而獲取關(guān)于樣品三維結(jié)構(gòu)的信息。這種方法可以通過SEM的樣品舞臺(tái)進(jìn)行實(shí)現(xiàn)。

立體重建： 利用多個(gè)不同角度或焦平面的圖像，可以進(jìn)行立體重建，以獲取樣品的三維形狀信息。這可能需要計(jì)算機(jī)輔助的圖像處理技術(shù)來生成深度信息。

透射電子顯微鏡： 雖然不是SEM，但TEM是另一種電子顯微鏡，它通過樣品而不是在其表面掃描。TEM可以提供樣品的截面圖像，因此可以獲取更多的深度信息。

聚焦離子束切割： 利用FIB技術(shù)，可以在SEM中使用離子束切割樣品表面，揭示其內(nèi)部結(jié)構(gòu)，從而獲取深度信息。

請(qǐng)注意，每種方法都有其優(yōu)缺點(diǎn)，并且選擇取決于研究的具體要求。深度信息的獲取可能需要結(jié)合多種技術(shù)和圖像處理方法。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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