掃描電鏡中的能譜分析，也稱為EDS，是一種用于分析材料成分的技術(shù)。以下是掃描電鏡中EDS的基本原理：

X射線產(chǎn)生： 掃描電鏡中的電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)激發(fā)樣品中的原子內(nèi)部電子躍遷。當(dāng)內(nèi)部電子躍遷發(fā)生時(shí)，會(huì)產(chǎn)生輻射，其中包括X射線。

能譜采集： EDS系統(tǒng)使用能譜儀器來測量這些X射線的能量。能譜儀器通常由能量分辨率高的半導(dǎo)體探測器組成。當(dāng)樣品中的原子被激發(fā)時(shí)，每個(gè)元素都會(huì)發(fā)射特定能量的X射線。

元素識別： 每個(gè)元素都有獨(dú)特的X射線能譜，因此通過測量X射線的能譜，可以確定樣品中存在的元素種類及其相對豐度。能譜分析允許確定樣品中的主要和痕量元素。

定量分析： EDS系統(tǒng)還可以提供相對濃度信息，使用戶能夠?qū)Σ煌氐暮窟M(jìn)行定量分析。這通常需要使用標(biāo)準(zhǔn)樣品來校準(zhǔn)系統(tǒng)。

ZEM20臺式掃描電鏡

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