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掃描電鏡的加速電壓如何影響圖像質(zhì)量?

日期:2023-08-18

掃描電鏡(SEM)的加速電壓是指加速電子束的能量。加速電壓的選擇會直接影響SEM圖像的質(zhì)量和特性。以下是加速電壓對圖像質(zhì)量的影響:

分辨率:加速電壓對SEM圖像的分辨率有直接影響。較高的加速電壓可以產(chǎn)生較短的電子波長,從而提高圖像的空間分辨率。這意味著您可以更好地分辨樣品表面的細(xì)小特征。但是,過高的加速電壓可能會引發(fā)電子束穿透樣品表面,導(dǎo)致信號損失。

深度信息:低加速電壓可以在表面形成較深的電子云,從而獲得樣品表面的拓?fù)湫畔?。高加速電壓則會減少電子云的深度,可能導(dǎo)致一些表面細(xì)節(jié)無法被很好地捕捉。

信號強(qiáng)度:高加速電壓會產(chǎn)生更多的次級電子,這些次級電子在與樣品交互后返回并被探測器捕獲。因此,較高的加速電壓通常會提供更高的信號強(qiáng)度,從而產(chǎn)生更明亮、更詳細(xì)的圖像。

樣品損傷:高加速電壓可能導(dǎo)致樣品電離和電子束誘發(fā)的損傷,特別是對于非導(dǎo)電樣品。在選擇加速電壓時(shí),需要考慮樣品的特性,以避免損傷。

表面充電效應(yīng):低加速電壓通常會產(chǎn)生更強(qiáng)的表面充電效應(yīng),導(dǎo)致圖像中的光斑和背景扭曲。在一些情況下,這可能會影響圖像的解釋和分析。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技