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什么是掃描電鏡的樣品鍍膜?為什么需要?

日期:2023-08-14

掃描電子顯微鏡(SEM)的樣品鍍膜是在需要觀察的樣本表面覆蓋一層薄膜,通常是金屬薄膜,以改善樣本在SEM中的成像性能。這種鍍膜過程可以通過物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)等方法進(jìn)行。

樣品鍍膜的主要目的是:

增加導(dǎo)電性: 許多樣本,特別是非導(dǎo)電的生物樣本或絕緣材料,往往在電子束照射下會(huì)產(chǎn)生電荷積累,導(dǎo)致圖像失真或偽影。通過在樣本表面鍍上導(dǎo)電薄膜,可以有效消除電荷積累問題,使電子束能夠更好地通過樣本表面。

增加對(duì)比度: 金屬薄膜通常比樣本本身更容易與電子束相互作用,從而產(chǎn)生更強(qiáng)的二次電子和后向散射電子,這可以提高圖像的對(duì)比度,使細(xì)節(jié)更容易觀察。

保護(hù)樣本: 一些樣本可能在高真空環(huán)境中易受損或氧化。通過鍍上一層薄膜,可以保護(hù)樣本免受環(huán)境影響,同時(shí)還可以保留樣本的形狀和結(jié)構(gòu)。

增加細(xì)節(jié)顯示: 鍍膜可以使樣本的表面特征更突出,從而更容易觀察到微小的細(xì)節(jié)和結(jié)構(gòu)。

化學(xué)成分分析: 對(duì)于金屬鍍膜,還可以使用能量色散X射線譜(EDS)等附加設(shè)備對(duì)樣本進(jìn)行化學(xué)成分分析,以獲取樣本表面元素的分布信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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作者:澤攸科技