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掃描電鏡的探針電流對圖像質(zhì)量有何影響?

日期:2023-06-30

掃描電子顯微鏡(SEM)的探針電流是指通過樣品表面的電子束電流。探針電流的大小可以對掃描電鏡圖像的質(zhì)量和特性產(chǎn)生影響,主要包括以下幾個方面:

信號強度:較高的探針電流會導致更強的信號生成,這對于獲取較高的信噪比和圖像對比度是有益的。信號強度的增加可以提高圖像的亮度和清晰度,使細節(jié)更加明確可見。

樣品損傷:較高的探針電流可能會對樣品產(chǎn)生熱效應,導致樣品受熱、損傷或發(fā)生電子束誘導的化學反應。這可能會導致樣品的形貌和化學成分發(fā)生改變,從而影響圖像的準確性和可靠性。

解析度:探針電流的增加會影響掃描電鏡的空間分辨率。雖然較高的探針電流可以提供更強的信號,但也會增加電子束的散射和衍射效應,從而降低圖像的解析度和細節(jié)呈現(xiàn)能力。

表面充電效應:較高的探針電流可能引起樣品表面的電子束電荷積累,導致電荷不平衡和表面充電效應。這些充電效應可能會導致圖像中出現(xiàn)偽像、扭曲或偏移,并影響材料的真實表面形貌的觀察。

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作者:澤攸科技