掃描電鏡檢測器的工作原理是怎樣的?
日期:2023-06-25
掃描電鏡檢測器的工作原理可以根據(jù)不同類型的檢測器而有所不同。以下是幾種常見掃描電鏡檢測器的工作原理簡介:
二次電子檢測器:二次電子檢測器主要用于觀察樣品表面的形貌信息。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí),樣品表面的原子與電子發(fā)生相互作用,產(chǎn)生一部分能量較低的二次電子。二次電子檢測器通過將樣品表面的二次電子收集起來,放大和探測,生成顯微圖像。這種檢測器對于樣品表面的形貌特征比較敏感。
回散射電子檢測器:回散射電子檢測器用于分析樣品的成分和結(jié)構(gòu)信息。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí),部分電子被樣品原子的核吸引,并發(fā)生回散射?;厣⑸潆娮拥哪芰亢徒嵌扰c樣品的成分和密度相關(guān)?;厣⑸潆娮訖z測器通過收集和探測回散射電子,并將其轉(zhuǎn)換為電信號,以獲得樣品的成分分布和結(jié)構(gòu)信息。
X射線能譜儀(: X射線能譜儀用于分析樣品的化學(xué)成分。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí),樣品中的原子會被激發(fā)并發(fā)射出特定能量的X射線。EDS檢測器通過收集這些X射線,并將其能譜轉(zhuǎn)換為電信號進(jìn)行分析。通過分析X射線的能量和強(qiáng)度,可以確定樣品中存在的元素種類和相對含量。
這些只是掃描電鏡檢測器中的幾個(gè)常見類型,實(shí)際上還有其他類型的檢測器,如探針顯微鏡(如原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡)的工作原理與上述有所不同。不同的檢測器通過收集、轉(zhuǎn)換和探測樣品表面產(chǎn)生的信號,將其轉(zhuǎn)化為可視化圖像、電信號或能譜信息,從而提供有關(guān)樣品表面形貌、成分、結(jié)構(gòu)等方面的信息。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡檢測器的工作原理。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。
作者:澤攸科技