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掃描電鏡中的探針和探頭是什么?

日期:2023-06-20

在掃描電鏡(SEM)中,探針和探頭是兩個不同的概念,它們用于描述電子束與樣品之間的相互作用。

探針(Probe):探針通常指的是電子束在樣品表面聚焦形成的非常細小的電子束。這個電子束用于掃描樣品表面并與樣品相互作用。探針的直徑可以調(diào)整,通常可以達到幾納米到數(shù)十納米的量級,具體取決于儀器的設置和需求。探針的聚焦和定位對于獲得高分辨率的圖像和準確的分析結(jié)果非常重要。

探頭(Detector):探頭是用于檢測樣品表面反射或散射的信號的裝置。在掃描電鏡中,有多種類型的探頭用于接收不同類型的信號。常見的探頭包括次級電子探頭(Secondary Electron Detector)和后向散射電子探頭(Backscattered Electron Detector)。次級電子探頭用于檢測樣品表面產(chǎn)生的次級電子信號,這些電子是由電子束與樣品表面的原子和分子相互作用產(chǎn)生的。后向散射電子探頭用于檢測由電子束與樣品表面相互作用后,被散射回到探頭的電子信號。這些探頭接收到的信號經(jīng)過處理和放大后,可以形成樣品表面的圖像。

需要注意的是,探針和探頭是兩個不同的概念,探針是指電子束,而探頭是指用于檢測信號的裝置。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技