臺(tái)式掃描電鏡的分辨率可以定義為它所能夠分辨的可接受的特征尺寸。一般情況下，掃描電鏡的分辨率定義為可分辨尺寸的一半，通常用“線對(duì)距”（即可分辨線條的間距）或“點(diǎn)對(duì)距”（即可分辨點(diǎn)之間的距離）來表示。例如，若掃描電鏡的分辨率為1納米，則其可以分辨的特征尺寸為0.5納米，即可分辨線條間距或點(diǎn)對(duì)距為0.5納米。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

需要注意的是，掃描電鏡的實(shí)際分辨率不僅與電子光束的性質(zhì)和樣品的物理結(jié)構(gòu)相關(guān)，還受到多種因素的影響，例如電子透鏡的調(diào)整、掃描電子束的能量、像素尺寸等。因此，在進(jìn)行具體實(shí)驗(yàn)前需要對(duì)樣品進(jìn)行多次調(diào)試和測(cè)試，以保證獲得高分辨率和成像效果。

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