掃描電鏡定期校準重要性
日期:2023-03-22
掃描電鏡的校準是確保其成像和測量準確性的關(guān)鍵步驟。以下是掃描電鏡的常見校準步驟:
樣品位置校準:樣品位置校準是保證掃描電鏡成像準確性的基礎(chǔ)。可以使用標準的校準標記或網(wǎng)格來確定樣品位置。根據(jù)校準標記或網(wǎng)格的位置和尺寸,調(diào)整掃描電鏡的掃描電子束位置和掃描區(qū)域,確保樣品在掃描電鏡視野范圍內(nèi)且位置準確。
圖像尺寸校準:圖像尺寸校準可以確保掃描電鏡成像的準確度和可重復(fù)性??梢允褂脴藴实男蕵擞浕蚓W(wǎng)格來確定圖像尺寸。在確定校準標記或網(wǎng)格尺寸后,對掃描電鏡的掃描電子束進行調(diào)整,確保標記或網(wǎng)格尺寸在成像中準確呈現(xiàn)。
電子束位置校準:電子束位置校準可以確保掃描電鏡成像中心的準確性??梢允褂脴藴实男蕵擞浕蚓W(wǎng)格,通過調(diào)整掃描電子束位置和掃描區(qū)域,確保電子束在標記或網(wǎng)格中心位置。
電子束透鏡校準:電子束透鏡校準可以確保掃描電鏡成像的清晰度和分辨率??梢允褂脴藴实男蕵擞浕蚓W(wǎng)格,調(diào)整電子束透鏡的聚焦和偏轉(zhuǎn)參數(shù),確保成像清晰且分辨率高。
在實際操作中,需要根據(jù)掃描電鏡的型號和使用條件來確定具體的校準步驟,并遵循相關(guān)的安全規(guī)定。需要定期對掃描電鏡進行校準,以確保其成像和測量的準確性。
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作者:澤攸科技
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